美國Vacuum Research真空公司(VRC) 從1953年起就開始制造真空閥門, 目前VRC作為世界上最知名的真空閥門制造商, 其產品廣泛應用于半導體制造業, 物理學研究, 化工凈化和真空設備制造等行業.
美國Vacuum Research真空公司(VRC) 從1953年起就開始制造真空閥門, 目前VRC作為世界上最知名的真空閥門制造商, 其產品廣泛應用于半導體制造業, 物理學研究, 化工凈化和真空設備制造等行業. 如離子注入設備, 加速器, 回旋加速器, 電子束焊接設備, 質譜儀, 空間模擬器, 鍍膜機, 真空爐等.
VRC的閥門產品具有如下特點
真空閥門材料及選件:不銹鋼或鋁制閥門, 手動/電動/氣動操作, 裝配有閥門位置指示裝置, 選配限位開關; 閥體上可以集成真空規管接口和粗抽接口.
接口形狀及尺寸:圓形或方形;接口尺寸從KF-16到900mm,1英寸到36英寸, 是世界上極少的幾個可以提供超大口徑真空插板閥的廠家之一.
法蘭規格:ANSI,ISO,JIS或Conflat
標準的VRC真空插板閥運行250000次無須維護, 更有百萬次使用無須維護的版本可以提供.
所有的VRC真空插板閥都可以在斷電情況下迅速關閉;氣動的閥門即使在同時斷電斷氣的情況下,也可是手動定位.
VRC的真空閥門在出廠前都經過了氦質譜檢漏, 漏率小于2×10-9 scc/s.
閥板兩側允許最大3個大氣壓力的壓差. 也提供更高壓力的版本.
維護簡單, 5分鐘內可以更換全部部件.